李建国
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刘实
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李依依
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胡东平
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季锡林
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梅军
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周德惠
金属学报
根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数, 建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场的耦合模型。利用该模型对沉积大面积金刚石薄膜的空间场进行了模拟计算, 研究了沉积参数对空间场的影响。结果表明, 衬底处的温度分布和质量流密度的计算值与实测值相吻合。只有气体进口速度对质量流密度的均匀性影响最大, 其它沉积参数对衬底温度的均匀性、质量流密度的均匀性影响不大。 从热丝阵列的最低温度出发, 优选出沉积100 mm×100 mm、高质量金刚石薄膜比较适宜的热丝几何参数。
关键词:
热丝化学气相沉积
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coupled model
,
spacial field
